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蘇州佐藤精密儀器有限公司
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FEI “Quanta系列”環境掃描電子顯微鏡”
儀器簡介：
Quanta x50系列掃描電子顯微鏡是FEI公司最新一代的、真正的多用途掃描電鏡，是著名的Quanta產品家族的第三代產品。
主要特點：
1.FEI ESEM(環境掃描電鏡)技術, 可在高真空、低真空和環境真空條件下對各種樣品進行觀察和分析。
2.所有真空條件下的二次電子、背散射電子觀察和微觀分析。
3.先進的系統結構平臺，全數字化系統。
4.可同時安裝能譜儀、波譜儀和EBSP系統。
5.可安裝低溫冷臺、加熱臺、拉伸臺等進行樣品的原位、動態觀察和分析。
技術參數：
1.分辨率:
二次電子:
高真空模式 3.0nm @ 30kV, 8nm @ 3kV
高真空減速模式 7nm @ 3kV (可選項)
低真空模式 3.0nm @ 30kV, 10nm @ 3kV
環境真空模式 3.0nm @ 30kV
背散射電子 4.0nm @ 30kV
2.樣品室壓力最高達2600Pa
3.加速電壓200V ～ 30kV，連續調節
4.樣品臺移動范圍
Quanta 250: X=Y=50mm
Quanta 450: X=Y=100mm
Quanta 650: X=Y=150mm